1.产品特点：
●适合处理片状，大面积的板材
●管状电极，处理更均匀
●严格验证的放电电极结构
●高密度等离子发生电源
·等离子发生效率高，处理效率快
·化学物理作用同时进行
*大功率等离子发生源，有效清除胶渣
●参数设定范围广
●可以使用多种气体
●全自动操作
●高效水冷系统，维持反应温度
·耐腐蚀干式真空泵及真空管路，不惧氟离子腐蚀
●干式泵及无液体作业，保养简单方便
2. 应用领域：
●硬板孔内胶渣清洗及孔壁活化
●化学沉金/电镀金前金手指、焊盘表面清洁
●PCB板BGA封装前表面清洗，打金线Wre&Die Bonding前处理，
EMC封装前处理
● FPCB雷射孔除碳渣
●PI表面活化、表面粗化、活化，改变附着力结合力
●PTFE(铁氟龙)高频微波板沉铜前的孔壁表面改性活化
●涂覆阻焊前与丝印字符前板面活化：有效防止阻焊字符脱落
●精细线条制作时去除干膜残余物
●柔性板贴合钢片、铝片、FR-4补强材料前处理
●化学沉金/电镀金后，SMT前焊盘表面、金手指表面清洁
3. 主要技术参数
NO | 项目 | 规格 |
1 | 设备尺寸 | 1565×960×2520（W×D×H）,不含推车 |
2 | 总重量 | 2T |
3 | 电力需求 | 380V，40A |
4 | 腔体 | 304不锈钢 |
5 | 真空泵形式 | 干式螺杆泵泵 |
6 | 处理时间 | 1-16min，依产品定 |
7 | 可使用气体 | Ar、O2、N2、N2+H2、CF4 |
8 | 等离子发生源 | 20KW |
9 | 托盘系统 | |
10 | 控制系统 | PLC+触摸屏 |
11 | 推车系统 | 用于接驳设备推车 |
12 | 温度控制系统 | 20-50℃ |
4. 外形图示
5. 典型案例
胶渣处理：
提高孔壁与镀铜层结合力，彻底清除胶渣(smear);提高通孔连接可靠性，准确控制Etch back,提高孔镀的信赖性和良率，防止内层开路。
铁氟龙高频微波板沉铜前的孔壁表面改性活化：
提高孔壁与镀铜层结合力，杜绝出现沉铜后黑孔；消除孔铜和内层铜高温断裂爆孔等现象，提高可靠性。
激光(Laser)加工后清除碳化物：
HDI板激光(Laser)之通孔、盲/埋孔去除激光(Laser)灼烧之碳化物。不受孔径大小之要求，孔径小于50微米之微孔效果更显著(Microvia hole, MH,BVH)。
精细线条制作时去除干膜残余物：
化学沉金/电镀金后，SMT前焊盘表面、金手指表面清洁(Cleaning):
可焊性改良，杜绝虚焊、上锡不良，提高强度和信赖性。
管理员
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